国产350nm光刻机拿下批量订单自主可控技术突破

来源：元鼎证券股票配资官方版网站：元鼎证券股票配资推荐：资金托管与风控透明化解析日期：2026-08-29 00:14:00 查看：72

芯上微装近日宣布，其自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并获得批量重复采购订单。从首台设备发运到获得批量订单仅用时9个月，该设备从关键零部件到软件控制系统均实现100%自主可控，标志着国产光刻机在化合物半导体专用设备领域迈出重要一步。

国产350nm光刻机拿下批量订单

AST6200定位为化合物半导体专用步进光刻机，稳定实现350nm分辨率，正面套刻精度80nm、背面套刻精度500nm。设备兼容多种衬底材料，包括Si、SiC、GaN、GaAs、InP、蓝宝石等，支持2至8英寸基片及透明、半透明、大台阶晶圆的调焦调平。软件控制系统实现全栈自主可控，主要服务于功率器件、射频前端、光电子芯片、Micro LED等产线。

国产350nm光刻机拿下批量订单自主可控技术突破

芯上微装是从上海微电子装备集团拆分设立的独立公司，专注于“超越摩尔”赛道的芯片制造、先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域。该公司在先进封装步进光刻机市场表现突出股票配资官网开户，全球市占率约35%，国内市场占有率约90%。

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